快捷

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

　　今年以来，岳西县温泉镇聚焦项目，以钉钉子精神啃硬骨头、破难题，推动一批重点工程加速落地，为大别山革命老区高质量发展注入了澎湃动力。

　　8月15日，温泉镇现代农业蔬菜产业园的智能温室内，传感器实时监测着土壤湿度与光照强度，水肥一体化系统精准供给养分。这个占地200亩的“智慧农场”，年产优质蔬菜2000吨，产值超千万元，是该镇高质量推进项目建设的缩影。

　　以工业化思维发展农业。近年来，该镇通过“党组织+企业+合作社+农户”模式，成功招引食用菌生产基地、番茄港、蓝莓产业园等现代农业项目。其中，总投资超5亿元的食用菌（褐菇）生产基地一期建设过半，预计年产蘑菇4700吨；占地350亩的番茄港项目正加速推进，年底将建成集种植、观光于一体的现代农业示范园。目前，全镇已形成蔬菜、食用菌、精品果业三大特色产业链，带动200余户农户每年户均增收3万元以上。

　　离开现代农业蔬菜产业园，来到该镇清澄文化旅游体验项目现场，只见现代化的综合教学楼已投入运营，园林式的校区布局与周边山水相映成趣。这个总投资超1亿元的项目是该镇近年来招商引资的重头戏。

　　项目落地之初，该镇主要负责人牵头组建服务专班，实行“项目管家”全流程代办。还试水“入股联营”模式，以“村集体用地+企业”的方式参与文旅项目建设。“入股联营”的做法，不仅盘活了农村闲置土地，消除了企业的用地顾虑，还为村集体经济发展增添了新动能。

　　如今项目一期已建成10800平方米教学实训区，配套4000平方米综合楼，集教学培训、文化体验、旅游接待于一体，不仅成为岳西县职业教育的新标杆，更带动了解放村集体经济增收，吸纳村民就近务工，为乡村振兴提供了“产学研”融合的新路径。

　　从智慧农业到文旅融合，近年来温泉镇坚持以“系统思维”推动项目建设，构建多点发力、协同共进的发展格局。如今该镇内，项目建设现场机器轰鸣，乡村旅游景点游人如织，现代农业园区生机盎然。

　　“谋项目就是谋未来。重点项目不仅是拉动经济增长的强引擎，更是凝聚民心、汇聚民力的连心桥。”温泉镇党委书记胡天南说，该镇将以更大力度、更实举措推动在建及续建项目早投产、早见效，为大别山革命老区高质量发展贡献镇域力量。（记者 沈永亮 通讯员 彭先绪）

　　今年以来，岳西县温泉镇聚焦项目，以钉钉子精神啃硬骨头、破难题，推动一批重点工程加速落地，为大别山革命老区高质量发展注入了澎湃动力。

　　8月15日，温泉镇现代农业蔬菜产业园的智能温室内，传感器实时监测着土壤湿度与光照强度，水肥一体化系统精准供给养分。这个占地200亩的“智慧农场”，年产优质蔬菜2000吨，产值超千万元，是该镇高质量推进项目建设的缩影。

　　以工业化思维发展农业。近年来，该镇通过“党组织+企业+合作社+农户”模式，成功招引食用菌生产基地、番茄港、蓝莓产业园等现代农业项目。其中，总投资超5亿元的食用菌（褐菇）生产基地一期建设过半，预计年产蘑菇4700吨；占地350亩的番茄港项目正加速推进，年底将建成集种植、观光于一体的现代农业示范园。目前，全镇已形成蔬菜、食用菌、精品果业三大特色产业链，带动200余户农户每年户均增收3万元以上。

　　离开现代农业蔬菜产业园，来到该镇清澄文化旅游体验项目现场，只见现代化的综合教学楼已投入运营，园林式的校区布局与周边山水相映成趣。这个总投资超1亿元的项目是该镇近年来招商引资的重头戏。

　　项目落地之初，该镇主要负责人牵头组建服务专班，实行“项目管家”全流程代办。还试水“入股联营”模式，以“村集体用地+企业”的方式参与文旅项目建设。“入股联营”的做法，不仅盘活了农村闲置土地，消除了企业的用地顾虑，还为村集体经济发展增添了新动能。

　　如今项目一期已建成10800平方米教学实训区，配套4000平方米综合楼，集教学培训、文化体验、旅游接待于一体，不仅成为岳西县职业教育的新标杆，更带动了解放村集体经济增收，吸纳村民就近务工，为乡村振兴提供了“产学研”融合的新路径。

　　从智慧农业到文旅融合，近年来温泉镇坚持以“系统思维”推动项目建设，构建多点发力、协同共进的发展格局。如今该镇内，项目建设现场机器轰鸣，乡村旅游景点游人如织，现代农业园区生机盎然。

　　“谋项目就是谋未来。重点项目不仅是拉动经济增长的强引擎，更是凝聚民心、汇聚民力的连心桥。”温泉镇党委书记胡天南说，该镇将以更大力度、更实举措推动在建及续建项目早投产、早见效，为大别山革命老区高质量发展贡献镇域力量。（记者 沈永亮 通讯员 彭先绪）